1. 要約
JSPスクリュー真空ポンプは、技術的に高度なドライタイプ真空ポンプの一種です。市場のニーズに基づき、当社が独自に研究開発したものです。スクリュー真空ポンプは潤滑油や水封を必要としないため、ポンプ室は完全に無油状態です。そのため、半導体、電子産業におけるクリーンな真空が求められる用途、化学産業における溶媒回収プロセスにおいて、比類のない優位性を有しています。

2. ポンプ原理
スクリュー式真空ポンプはドライス​​クリュー真空ポンプとも呼ばれます。歯車伝動機構を利用し、高速回転する2本のスクリューを非接触で同期・逆回転させる構造を採用しています。また、ポンプシェルと螺旋状の相互噛み合いを利用して螺旋溝を分離し、複数の段を形成します。ガスは等間隔（円筒状、等ピッチ）で輸送されますが、圧縮は発生せず、スクリューの螺旋構造のみがガスを圧縮します。スクリューの各段で圧力勾配を形成できるため、圧力差を分散させ、圧縮比を高めることができます。各クリアランスと回転速度はポンプの性能に大きな影響を与えます。設計にあたっては、スクリュー部のクリアランス、膨張、加工・組立精度、そして動作環境（例えば、粉塵を含むガスの吸引など）を考慮する必要があります。このタイプのポンプは、ルーツ真空ポンプのような排気バルブを備えていません。適切なシンプルなスクリュー歯形断面を選択すれば、製造が容易で、高い加工精度とバランス調整が容易になります。

3. 優れた特性
a. ポンプキャビティ内にオイルがないので、真空システムが汚染されず、製品の品質が向上します。
b. ポンプキャビティ内にオイルがないため、オイルの乳化や作動流体の頻繁な交換、頻繁なメンテナンスや保守の問題が解決され、使用コストが節約されます。
c. 空運転なので廃油や油煙が出ず、環境に優しく、石油資源を節約します。
d. 大量の水蒸気と少量の粉塵を含むガスを排気できます。付属品を追加することで、可燃性ガス、爆発性ガス、放射性ガスも排気できます。
e. 到達圧力は5Paに達し、中真空および低真空に適しています。ルーツポンプをオイルレスの中真空ユニットに、分子ポンプをオイルレスの高真空ユニットに搭載できます。
f. 防錆コーティング処理後は、変圧器、製薬、蒸留、乾燥、化学処理における脱ガスなどの用途に特に適しています。

4. アプリケーション
a. 電気：変圧器、相互インダクタ、エポキシ樹脂真空注型、真空油浸コンデンサ、真空加圧含浸。
b. 工業炉真空ろう付け、真空焼結、真空焼鈍、真空ガス焼入れ。
c. 真空コーティング：真空蒸着コーティング、真空マグネトロンスパッタリングコーティング、フィルム巻き取り連続コーティング、イオンコーティングなど。
d. 冶金：特殊鋼製錬、真空誘導炉、真空脱硫、脱ガス。
e. 航空宇宙：宇宙船の軌道モジュール、帰還カプセル、ロケットの姿勢調整位置、宇宙服、宇宙飛行士のカプセル空間、航空機などの真空シミュレーション実験を備えた空間。
f. 乾燥：圧力スイング法真空乾燥、灯油ガスボックス乾燥、木材乾燥、野菜凍結乾燥。
g. 化学製品および医薬品：蒸留、乾燥、脱ガス、材料輸送など