真空ポンプとは、機械的、物理的、化学的、または物理化学的な方法を用いて、排気対象容器から空気を吸引し、真空状態を得る装置または機器を指します。一般的に、真空ポンプとは、様々な方法を用いて密閉空間内の真空度を改善、生成、維持するための装置です。真空ポンプの機能は、真空チャンバーから気体分子を除去し、真空チャンバー内の気体圧力を下げ、必要な真空度に達するようにすることです。

生産・科学研究分野における真空技術の適用範囲はますます広がり、圧力範囲の要件もますます広範になっています。そのため、真空ポンプシステムの多くは、共通の排気システムに加え、生産・科学研究プロセスの要件を満たすために複数の真空ポンプで構成されています。そのため、使用の利便性と様々な真空プロセスのニーズを満たすため、様々な真空ポンプをそれぞれの性能要件に応じて組み合わせ、真空ユニットとして使用することがあります。

水封式真空ユニットをルーツポンプの主ポンプとして、水封式真空ポンプを前置ポンプとしてシリーズ化しました。水封式真空ユニットを水封式真空ポンプの後置ポンプとして選定することで、水封式真空ポンプ単体使用時の限界圧力差（ユニット限界圧力が水封式真空ポンプの限界圧力を大幅に上回る）を克服できるだけでなく、一定圧力下での吸引量低下という欠点を克服し、同時にルーツポンプの高速運転を維持することで吸引量を大きく向上させるというメリットも得られます。

そのため、水封式ポンプは化学産業における真空蒸留、真空蒸発、脱水、結晶化など幅広い用途に使用できます。食品産業における凍結乾燥、軽繊維産業におけるポリエステルチップ、高高度模擬試験など、中真空システムにも適用できます。

当社が使用している真空ユニットの使用効果については、装置の設計や材質に加えて、外部環境の影響にも注意を払う必要があります。これらの外部要因は、以下の側面にまとめることができます。

1. 蒸気圧

低い蒸気圧と圧力変動は真空ポンプセットの容量に大きな影響を与えるため、蒸気圧は必要な作動圧力よりも低くしてはなりませんが、機器の構造設計は固定されており、蒸気圧が過度に上昇してもポンプ容量と真空度は上昇しません。

2. 冷却水

多段真空装置では、冷却水が重要な役割を果たします。凝縮水は豊富な蒸気を凝縮できるため、吐出圧力における水蒸気分圧は、対応する全蒸気圧力よりも高くする必要があります。

3. ノズル

ノズルは真空装置の性能に影響を与える重要な部品です。ノズルの取り付け不良、曲がった取り付け、詰まり、損傷、腐食、漏れといった問題が発生するため、これらを回避するよう努める必要があります。

4. 環境

真空ポンプユニットの環境とは、主にポンプされたガスによるシステムの汚染を指します。この過程で、微細な酸化粉皮などの微粒子が吸入され、ポンプ本体に蓄積して付着します。これにより、吸入管の流量が低下し、ポンプ時間が長くなり、ポンプのポンプエネルギーが低下します。