ปั๊ม Roots สร้างสุญญากาศโดยใช้โรเตอร์แบบกลีบสองอันที่หมุนสวนทางกัน โรเตอร์เหล่านี้ดักจับก๊าซที่ทางเข้าและลำเลียงผ่านตัวเรือนปั๊มโดยไม่มีแรงอัดภายใน การถ่ายโอนโมเลกุลก๊าซอย่างต่อเนื่องด้วยความเร็วสูงนี้จะช่วยลดความดัน ทำให้สุญญากาศต่ำถึง 10⁻⁵ มิลลิบาร์พร้อมการรองรับที่เหมาะสม การเติบโตอย่างต่อเนื่องของตลาดปั๊มสุญญากาศทั่วโลกตอกย้ำถึงความสำคัญของปั๊มสุญญากาศ
หลายภาคส่วนที่สำคัญต้องพึ่งพาปั๊มสุญญากาศรูทส์, รวมทั้ง:
• อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์: สำหรับกระบวนการต่างๆ เช่น การสะสมและการกัดกร่อนฟิล์มบาง
• อุตสาหกรรมเคมี: ในการใช้งานเช่นการกลั่นและการอบแห้ง
• อุตสาหกรรมยา: สำหรับการกรองสูญญากาศและการทำให้แห้งด้วยการแช่แข็ง
การทำงานภายในของปั๊มสุญญากาศรูทส์
ปั๊มสุญญากาศ Roots ทำงานบนหลักการที่เรียบง่ายแต่มีประสิทธิภาพสูง กลไกภายในจะเคลื่อนย้ายก๊าซจากทางเข้าไปยังทางออกโดยไม่อัดก๊าซเข้าไปในห้องปั๊ม กระบวนการนี้อาศัยการเคลื่อนไหวที่สอดประสานกันของชิ้นส่วนสำคัญหลายชิ้นที่ทำงานอย่างสอดประสานกันอย่างสมบูรณ์แบบ
วงจรการดำเนินงานสี่ขั้นตอน
การสูบน้ำเกิดขึ้นอย่างต่อเนื่องเป็นวัฏจักรสี่ขั้นตอน ซึ่งทำซ้ำหลายพันครั้งต่อนาที โรเตอร์สมัยใหม่สามารถหมุนด้วยความเร็วตั้งแต่ 3,000 ถึง 6,000 รอบต่อนาที ความเร็วสูงนี้ช่วยให้ปั๊มสามารถเคลื่อนย้ายก๊าซปริมาณมากได้อย่างรวดเร็ว
ช่องรับอากาศ: เมื่อโรเตอร์สองแฉกหมุนไปในทิศทางตรงกันข้าม ช่องรับอากาศจะเปิดขึ้นที่ทางเข้าของปั๊ม ก๊าซจากห้องสุญญากาศจะไหลเข้าสู่ปริมาตรที่กำลังขยายตัวนี้
การแยก: ปลายของโรเตอร์โลบจะผ่านช่องทางเข้า การกระทำนี้จะกักเก็บก๊าซปริมาณหนึ่งไว้ระหว่างโรเตอร์และตัวเรือนปั๊ม
การถ่ายโอน: จากนั้นก๊าซที่กักไว้จะถูกกวาดผ่านด้านในของตัวเครื่องไปยังทางออก คุณสมบัติสำคัญของปั๊มสุญญากาศ Roots คือจะไม่บีบอัดก๊าซนี้ในระหว่างการถ่ายโอน การทำงานแบบไร้สัมผัสและปราศจากน้ำมันนี้ทำให้ไม่ไวต่อฝุ่นหรือไอน้ำปริมาณเล็กน้อย
ไอเสีย: โรเตอร์ยังคงหมุนต่อไป เผยให้เห็นช่องก๊าซที่ช่องระบายออก จากนั้นก๊าซจะขยายตัวเข้าไปในท่อระบายออก ซึ่งปั๊มสำรองจะดึงก๊าซออกจากระบบ วงจรนี้จะวนซ้ำไปเรื่อยๆ โดยเคลื่อนก๊าซจากทางเข้าไปยังทางออกอย่างต่อเนื่อง และลดแรงดันของระบบลง
หมายเหตุ: แม้ว่าจะมีประสิทธิภาพสูงสำหรับก๊าซหลายชนิด แต่ความสามารถในการดูดของปั๊ม Roots จะต่ำกว่าสำหรับก๊าซเบามาก เช่น ไฮโดรเจน เมื่อเปรียบเทียบกับปั๊มประเภทอื่น
ส่วนประกอบหลักและหน้าที่ของมัน
ประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ของปั๊ม Roots ขึ้นอยู่กับส่วนประกอบสำคัญเพียงไม่กี่ชิ้นที่ออกแบบมาด้วยความแม่นยำสูง
โรเตอร์: ปั๊มมีโรเตอร์แบบกลีบสองกลีบที่เชื่อมต่อกัน (มักมีรูปร่างคล้ายเลขแปด) รูปทรงหรือลักษณะของกลีบเหล่านี้ส่งผลโดยตรงต่อประสิทธิภาพ การออกแบบที่แตกต่างกันจะให้ความสมดุลระหว่างความเร็วในการสูบและประสิทธิภาพ ตัวอย่างเช่น โรเตอร์แบบเกลียวช่วยลดการสั่นของแรงดันและเสียงรบกวนขณะทำงาน
| ประเภทโปรไฟล์โรเตอร์ | ข้อได้เปรียบด้านความเร็วในการสูบน้ำ | อัตราการใช้ปริมาณ |
|---|---|---|
| นวนิยายรูปไข่ | สูงกว่าเครื่องออกกำลังกายวงรีด้านบน 1.5 เท่า | สูง |
| เครื่องออกกำลังกายวงรีด้านบน | ประสิทธิภาพมาตรฐาน | เข้าใกล้ 55% |
ตัวเรือน (Casing): คือส่วนภายนอกที่หุ้มโรเตอร์ สร้างขึ้นเพื่อทนต่อความแตกต่างของแรงดันระหว่างระบบสุญญากาศและบรรยากาศ วัสดุที่ใช้ทำตัวเรือนและโรเตอร์ขึ้นอยู่กับความต้องการใช้งานในด้านความทนทานต่อการกัดกร่อน ความแข็งแรง และราคา
| วัสดุ | ข้อได้เปรียบหลัก | แอปพลิเคชันทั่วไป |
|---|---|---|
| เหล็กหล่อ | มีความแข็งแรงสูง ทนทานต่อการสึกหรอ คุ้มค่าคุ้มราคา | อุตสาหกรรมทั่วไป เคมีภัณฑ์ และการแปรรูปอาหาร |
| สแตนเลส | ทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม มีคุณสมบัติถูกสุขอนามัย | อุตสาหกรรมยา, เซมิคอนดักเตอร์ และอุปกรณ์ทางการแพทย์ |
| โลหะผสมอลูมิเนียม | น้ำหนักเบา นำความร้อนได้ดี | ระบบอวกาศ ยานยนต์ และปั๊มแบบพกพา |
เฟืองไทม์มิ่ง: เฟืองไทม์มิ่งตั้งอยู่ภายนอกห้องปั๊ม จึงมีความสำคัญอย่างยิ่ง เฟืองไทม์มิ่งจะซิงโครไนซ์โรเตอร์ทั้งสองตัวเข้าด้วยกัน เพื่อให้แน่ใจว่าโรเตอร์ทั้งสองหมุนไปในทิศทางตรงกันข้ามโดยไม่สัมผัสกันหรือสัมผัสกับตัวเรือน การซิงโครไนซ์นี้ถือเป็นพื้นฐานสำคัญสำหรับการทำงานแบบไร้สัมผัสของปั๊ม
ซีลเพลา: ซีลช่วยป้องกันการรั่วไหลของอากาศเข้าไปในห้องสุญญากาศและป้องกันไม่ให้น้ำมันหล่อลื่นปนเปื้อนในกระบวนการ การเลือกซีลขึ้นอยู่กับระดับสุญญากาศที่ต้องการและการใช้งาน
| ประเภทซีล | กลไก | ดีที่สุดสำหรับ |
|---|---|---|
| ตราประทับเขาวงกต | ใช้เส้นทางที่ซับซ้อนเพื่อหยุดการไหล ไม่ต้องสัมผัส | การใช้งานความเร็วสูงที่ไม่จำเป็นต้องเกิดการสึกหรอเลย |
| ซีลเชิงกล | ใช้หน้าสปริงขัดเงาอย่างดี 2 หน้า | ความต้องการแรงดันสูง อุณหภูมิสูง และการรั่วไหลต่ำ |
| ซีลของเหลวแม่เหล็ก | ใช้ของเหลวแม่เหล็กสร้างเกราะป้องกันที่สมบูรณ์แบบ | การใช้งานสูญญากาศสูงที่ต้องการการรั่วไหลเป็นศูนย์ |
ความสำคัญของการกวาดล้างที่แม่นยำ
คำว่า "ระยะห่าง" หมายถึงช่องว่างเล็กๆ ที่คำนวณไว้แล้วระหว่างโรเตอร์และตัวเรือน ช่องว่างเหล่านี้คือเคล็ดลับความสำเร็จของปั๊ม ช่องว่างเหล่านี้ช่วยให้โรเตอร์หมุนด้วยความเร็วสูงโดยไม่มีแรงเสียดทาน ซึ่งมีข้อดีหลายประการ:
เริ่มต้นอย่างรวดเร็ว
การใช้พลังงานต่ำ
ความเร็วในการสูบน้ำสูง
ต้นทุนการดำเนินงานและการบำรุงรักษาต่ำ
อย่างไรก็ตาม ระยะห่างเหล่านี้ต้องได้รับการจัดการอย่างสมบูรณ์แบบ ระหว่างการทำงาน ปั๊มจะสร้างความร้อน ความร้อนนี้ทำให้ชิ้นส่วนโลหะขยายตัว ซึ่งเป็นกระบวนการที่เรียกว่าการขยายตัวเนื่องจากความร้อน เมื่อโรเตอร์และตัวเรือนขยายตัว ระยะห่างระหว่างโรเตอร์และตัวเรือนจะหดตัวลง
คำเตือน: หากระยะห่างแคบเกินไปเนื่องจากการขยายตัวเนื่องจากความร้อนหรือการประกอบที่ไม่ถูกต้อง โรเตอร์อาจสัมผัสกันหรือสัมผัสกับตัวเรือน ทำให้เกิดแรงเสียดทาน ชิ้นส่วนเสียหาย ภาระมอเตอร์เพิ่มขึ้น และอาจทำให้ปั๊มติดขัด ในทางกลับกัน ระยะห่างที่มากเกินไปอาจทำให้ก๊าซรั่วย้อนกลับจากทางออกไปยังทางเข้า ซึ่งจะลดประสิทธิภาพของปั๊มลงอย่างมาก
การเลือกวิศวกรรมและวัสดุที่เหมาะสมช่วยให้ปั๊มสุญญากาศ Roots รักษาระยะห่างที่เหมาะสมตลอดช่วงอุณหภูมิการทำงาน ส่งผลให้ทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพและเชื่อถือได้
การกำหนดค่าระบบ: การสำรองเทียบกับปั๊มหลายขั้นตอน
ปั๊ม Roots เป็นปั๊มบูสเตอร์ที่ทรงพลัง แต่ไม่สามารถทำงานได้เพียงลำพัง จำเป็นต้องมีการกำหนดค่าระบบเฉพาะเพื่อให้เกิดประสิทธิภาพสูงสุด ปั๊มนี้เคลื่อนย้ายก๊าซได้อย่างมีประสิทธิภาพ แต่ไม่สามารถบีบอัดก๊าซได้มากพอที่จะระบายออกสู่ชั้นบรรยากาศโดยตรง ข้อจำกัดนี้จำเป็นต้องใช้ปั๊มสำรองหรือระบบหลายขั้นตอน
เหตุใดจึงจำเป็นต้องใช้ปั๊มสำรอง
ปั๊ม Roots จำเป็นต้องมีปั๊มสำรองเพื่อจัดการกับไอเสีย ปั๊มสำรองจะเชื่อมต่อกับทางออกของปั๊ม Roots ทำหน้าที่รับก๊าซที่ถ่ายเทและอัดให้อยู่ในความดันบรรยากาศ เสร็จสิ้นกระบวนการดูดออก ความร่วมมือนี้ช่วยให้ระบบสามารถดูดสูญญากาศได้ลึกอย่างมีประสิทธิภาพ การเลือกปั๊มสำรองขึ้นอยู่กับการใช้งานเฉพาะและระดับสุญญากาศที่ต้องการ
คุณรู้หรือไม่? ปั๊มสำรองยังเรียกอีกอย่างว่าปั๊มหลัก เนื่องจากทำหน้าที่สุดท้ายในการกำจัดก๊าซออกจากระบบ
ประเภททั่วไปของปั๊มสำรอง ได้แก่:
ปั๊มใบพัดหมุนสองขั้นตอน
ปั๊มกลไกแบบซีลน้ำมัน
ปั๊มกลไกวาล์วสไลด์สองขั้นตอน
ปั๊มสุญญากาศวงแหวนของเหลว
ปั๊มหลายขั้นตอนทำงานอย่างไร
สำหรับการใช้งานที่ต้องการแรงดันต่ำมาก วิศวกรจะเชื่อมต่อปั๊มหลายตัวเข้าด้วยกันแบบอนุกรม ทำให้เกิดระบบปั๊มสุญญากาศรูทส์แบบหลายขั้นตอน ในการติดตั้งนี้ ทางออกของปั๊มตัวแรกจะป้อนเข้าสู่ทางเข้าของปั๊มตัวที่สอง และดำเนินต่อไปเรื่อยๆ ในแต่ละขั้นตอนถัดไปจะลดแรงดันลงอีก อย่างไรก็ตาม ยังคงต้องใช้ปั๊มสำรองตัวสุดท้ายที่ปลายโซ่เพื่อระบายก๊าซออกสู่ชั้นบรรยากาศ
ระบบอันทรงพลังเหล่านี้มีความสำคัญอย่างยิ่งต่ออุตสาหกรรมเทคโนโลยีขั้นสูงและอุตสาหกรรมที่มีความต้องการสูง การใช้งานหลักๆ ได้แก่:
การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: สำหรับกระบวนการต่างๆ เช่น การสะสมไอเคมี (CVD), การสะสมไอทางกายภาพ (PVD) และการกัดกร่อน
การบินและอวกาศ: ห้องจำลองในอวกาศและการทดสอบส่วนประกอบ
พลังงานใหม่ : เพื่อการผลิตแผงโซล่าเซลล์และแบตเตอรี่
ปั๊มสุญญากาศ Roots โดดเด่นในการถ่ายโอนก๊าซความเร็วสูงแทนการบีบอัดภายใน การออกแบบที่เรียบง่ายและไม่ต้องสัมผัสช่วยสร้างบูสเตอร์ที่ทรงพลังสำหรับการใช้งานที่สะอาดและมีปริมาณงานสูง ปั๊มสมัยใหม่ผสานรวมมอเตอร์ประหยัดพลังงานและเซ็นเซอร์อัจฉริยะ เพิ่มประสิทธิภาพการทำงานให้ดียิ่งขึ้นสำหรับอุตสาหกรรมที่ต้องการระบบสุญญากาศที่เชื่อถือได้และมีประสิทธิภาพ
เวลาโพสต์: 28 ต.ค. 2568