Hướng dẫn từng bước về cách vận hành của máy bơm Roots

Bơm Roots tạo ra chân không bằng cách sử dụng hai rotor thùy quay ngược chiều nhau. Các rotor này giữ khí ở đầu vào và vận chuyển qua vỏ bơm mà không cần nén bên trong. Việc truyền tải liên tục các phân tử khí ở tốc độ cao này làm giảm áp suất, đạt được chân không thấp tới 10⁻⁵ mbar với sự hỗ trợ thích hợp. Sự tăng trưởng ổn định của thị trường bơm chân không toàn cầu làm nổi bật tầm quan trọng của nó.

Máy bơm chân không Roots

Nhiều lĩnh vực quan trọng dựa vàoMáy bơm chân không Roots, bao gồm:
• Ngành công nghiệp bán dẫn: Dành cho các quy trình như lắng đọng màng mỏng và khắc.
• Công nghiệp hóa chất: Trong các ứng dụng như chưng cất và sấy khô.
• Ngành công nghiệp dược phẩm: Dùng để lọc chân không và sấy đông khô.

Cơ chế hoạt động bên trong của máy bơm chân không Roots

Bơm chân không Roots hoạt động theo nguyên lý đơn giản nhưng hiệu quả cao. Cơ chế bên trong của nó di chuyển khí từ đầu vào đến đầu ra mà không nén khí bên trong buồng bơm. Quá trình này dựa trên chuyển động đồng bộ của nhiều bộ phận chính hoạt động hoàn hảo, nhịp nhàng.
Chu trình vận hành bốn bước
Hoạt động bơm diễn ra theo chu trình bốn bước liên tục, lặp lại hàng nghìn lần mỗi phút. Các rotor hiện đại có thể quay với tốc độ từ 3.000 đến 6.000 vòng/phút. Tốc độ cao này cho phép bơm di chuyển khối lượng khí lớn rất nhanh.
Đầu vào: Khi hai rotor thùy quay ngược chiều nhau, một khoang không gian mở ra ở cửa vào của bơm. Khí từ buồng chân không chảy vào thể tích đang giãn nở này.
Cách ly: Đầu của thùy rotor đi qua cửa nạp. Hành động này giữ lại một lượng khí nhất định giữa rotor và vỏ bơm.
Vận chuyển: Túi khí bị giữ lại sau đó được quét qua bên trong vỏ máy về phía cửa thoát. Một tính năng chính của bơm chân không Roots là nó không nén khí này trong quá trình vận chuyển. Hoạt động không tiếp xúc, không dầu này giúp máy không bị ảnh hưởng bởi một lượng nhỏ bụi hoặc hơi nước.
Xả: Rotor tiếp tục quay, để lộ túi khí ra cổng xả. Khí sau đó giãn nở vào đường ống xả, tại đó một bơm hỗ trợ sẽ hút khí ra khỏi hệ thống. Chu trình này lặp lại, liên tục di chuyển khí từ đầu vào đến đầu ra và giảm áp suất hệ thống.
Lưu ý: Mặc dù có hiệu quả cao đối với nhiều loại khí, khả năng hút của máy bơm Roots lại thấp hơn đối với các loại khí rất nhẹ như hydro khi so sánh với các loại máy bơm khác.
Các thành phần chính và chức năng của chúng
Hiệu suất đáng tin cậy của máy bơm Roots phụ thuộc vào một số thành phần quan trọng được thiết kế với độ chính xác cao.
Rotor: Máy bơm có hai rotor lồng vào nhau, hình thù giống hình số tám. Hình dạng, hay cấu hình, của các rotor này ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất. Các thiết kế khác nhau mang đến sự cân bằng giữa tốc độ bơm và hiệu suất. Ví dụ, rotor xoắn ốc giúp giảm xung áp suất và tiếng ồn khi vận hành.

Loại cấu hình rôto Ưu điểm về tốc độ bơm Tỷ lệ sử dụng khối lượng
Máy tập elip mới lạ Cao hơn 1,5 lần so với máy tập elip hàng đầu Cao
Máy tập elip hàng đầu Hiệu suất tiêu chuẩn Tiếp cận 55%

Vỏ (Case): Đây là phần thân ngoài bao bọc rotor. Nó được chế tạo để chịu được chênh lệch áp suất giữa hệ thống chân không và khí quyển. Vật liệu được sử dụng cho vỏ và rotor phụ thuộc vào nhu cầu về khả năng chống ăn mòn, độ bền và chi phí của ứng dụng.

Vật liệu Ưu điểm chính Ứng dụng phổ biến
Gang Độ bền cao, khả năng chống mài mòn tốt, tiết kiệm chi phí. Chế biến công nghiệp, hóa chất và thực phẩm nói chung.
Thép không gỉ Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, tính vệ sinh cao. Dược phẩm, chất bán dẫn và thiết bị y tế.
Hợp kim nhôm Nhẹ, dẫn nhiệt tốt. Hệ thống bơm hàng không vũ trụ, ô tô và bơm di động.

Bánh răng định thời: Nằm bên ngoài buồng bơm, bánh răng định thời rất quan trọng. Chúng đồng bộ hóa hai rotor, đảm bảo chúng quay ngược chiều nhau mà không bao giờ chạm vào nhau hoặc vỏ bơm. Sự đồng bộ này là nền tảng cho hoạt động không tiếp xúc của bơm.

Phớt trục: Phớt ngăn không khí rò rỉ vào buồng chân không và ngăn chất bôi trơn làm nhiễm bẩn quy trình. Việc lựa chọn phớt tùy thuộc vào mức độ chân không và ứng dụng cần thiết.

Loại niêm phong Cơ chế Tốt nhất cho
Mê cung phong ấn Sử dụng đường dẫn phức tạp để ngăn dòng chảy; không tiếp xúc. Ứng dụng tốc độ cao không cần mài mòn.
Phớt cơ khí Sử dụng hai mặt lò xo được đánh bóng kỹ lưỡng. Nhu cầu áp suất cao, nhiệt độ cao và rò rỉ thấp.
Phớt chất lỏng từ tính Sử dụng chất lỏng từ tính để tạo ra lớp rào cản hoàn hảo. Ứng dụng chân không cao yêu cầu không rò rỉ.

Tầm quan trọng của việc giải phóng mặt bằng chính xác

Thuật ngữ "khoảng hở" dùng để chỉ những khoảng hở nhỏ, được tính toán kỹ lưỡng giữa các rotor và giữa rotor với vỏ bơm. Những khoảng hở này là bí quyết thành công của bơm. Chúng cho phép rotor quay ở tốc độ cao mà không bị ma sát, mang lại nhiều lợi thế:
Khởi động nhanh
Tiêu thụ điện năng thấp
Tốc độ bơm cao
Chi phí vận hành và bảo trì thấp
Tuy nhiên, những khe hở này phải được quản lý hoàn hảo. Trong quá trình vận hành, máy bơm sinh ra nhiệt. Nhiệt này khiến các bộ phận kim loại giãn nở, một quá trình được gọi là giãn nở nhiệt. Khi rotor và vỏ bơm giãn nở, khe hở giữa chúng co lại.
Cảnh báo: Nếu khe hở quá nhỏ do giãn nở nhiệt hoặc lắp ráp không đúng cách, các rotor có thể tiếp xúc với nhau hoặc với vỏ bơm. Điều này dẫn đến ma sát, hư hỏng linh kiện, tăng tải động cơ và nguy cơ kẹt bơm. Ngược lại, khe hở quá lớn sẽ khiến khí rò rỉ ngược từ đầu ra vào đầu vào, làm giảm nghiêm trọng hiệu suất của bơm.
Kỹ thuật và lựa chọn vật liệu phù hợp đảm bảo máy bơm chân không Roots duy trì khoảng cách tối ưu trong phạm vi nhiệt độ hoạt động, mang lại hiệu suất đáng tin cậy và hiệu quả.

Cấu hình hệ thống: Bơm dự phòng so với Bơm nhiều tầng

Bơm Roots là một thiết bị tăng áp mạnh mẽ, nhưng không thể hoạt động độc lập. Nó đòi hỏi một cấu hình hệ thống cụ thể để đạt được tiềm năng tối đa. Bơm di chuyển khí hiệu quả nhưng không nén đủ để thải trực tiếp ra khí quyển. Hạn chế này đòi hỏi phải sử dụng bơm hỗ trợ hoặc hệ thống nhiều tầng.
Tại sao cần có bơm hỗ trợ
Bơm Roots cần một bơm hỗ trợ để xử lý khí thải. Bơm hỗ trợ kết nối với đầu ra của bơm Roots. Nó tiếp nhận khí được truyền đi và nén đến áp suất khí quyển, hoàn tất quá trình hút chân không. Sự kết hợp này cho phép hệ thống đạt được độ chân không sâu một cách hiệu quả. Việc lựa chọn bơm hỗ trợ phụ thuộc vào ứng dụng cụ thể và mức chân không mong muốn.
Bạn có biết? Bơm hỗ trợ còn được gọi là bơm chính vì nó thực hiện công việc cuối cùng là loại bỏ khí ra khỏi hệ thống.
Các loại bơm hỗ trợ phổ biến bao gồm:
Máy bơm cánh gạt quay hai tầng
Bơm cơ khí kín dầu
Bơm cơ khí van trượt hai tầng
Máy bơm chân không vòng chất lỏng
Máy bơm đa tầng hoạt động như thế nào
Đối với các ứng dụng đòi hỏi áp suất cực thấp, các kỹ sư kết nối nhiều bơm nối tiếp. Điều này tạo ra hệ thống bơm chân không Roots nhiều tầng. Trong thiết lập này, đầu ra của bơm đầu tiên sẽ đi vào đầu vào của bơm thứ hai, v.v. Mỗi tầng tiếp theo lại làm giảm áp suất hơn nữa. Vẫn cần một bơm hỗ trợ cuối cùng ở cuối chuỗi để xả khí ra khí quyển.
Những hệ thống mạnh mẽ này rất quan trọng đối với các ngành công nghiệp công nghệ cao và đòi hỏi khắt khe. Các ứng dụng chính bao gồm:
Sản xuất chất bán dẫn: Dành cho các quy trình như lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng hơi vật lý (PVD) và khắc.
Hàng không vũ trụ: Phòng mô phỏng không gian và thử nghiệm thành phần.
Năng lượng mới: Sản xuất tấm pin mặt trời và pin.


Bơm chân không Roots vượt trội ở khả năng truyền khí tốc độ cao thay vì nén bên trong. Thiết kế đơn giản, không tiếp xúc của nó tạo ra một bộ tăng áp mạnh mẽ cho các ứng dụng sạch, lưu lượng cao. Các máy bơm hiện đại ngày nay tích hợp động cơ tiết kiệm năng lượng và cảm biến thông minh, nâng cao hiệu suất hơn nữa cho các ngành công nghiệp đòi hỏi hệ thống chân không đáng tin cậy và hiệu quả.


Thời gian đăng: 28-10-2025