א רוטס פּאָמפּע שאַפט אַ וואַקוום ניצנדיק צוויי קעגן-דרייענדיקע, לאָבעד ראָטאָרן. די ראָטאָרן כאַפּן גאַז ביים אַרייַנגאַנג און טראַנספּאָרטירן עס אַריבער די פּאָמפּע'ס הויזינג אָן אינערלעכע קאַמפּרעסיע. די קאָנטינויִערלעכע, הויך-גיכקייט טראַנספער פון גאַז מאַלעקולן רעדוצירט דרוק, דערגרייכנדיק וואַקוומס אַזוי נידעריק ווי 10⁻⁵ מבאַר מיט געהעריקער באַקינג. די גלאָבאַלע וואַקוום פּאָמפּע מאַרק'ס שטענדיקע וווּקס אונטערשטרייכט זיין וויכטיקייט.
פילע קריטישע סעקטאָרן פאַרלאָזן זיך אויף דירוטס וואַקוום פּאָמפּע, אריינגערעכנט:
• האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע: פֿאַר פּראָצעסן ווי דין-פילם דעפּאָזיציע און עטשינג.
• כעמישע אינדוסטריע: אין אַפּליקאַציעס ווי דיסטילאַציע און טריקעניש.
• פארמאצעווטישע אינדוסטריע: פאר וואקיום פילטראציע און פריז-טריקעניש.
די אינערלעכע ארבעטן פון א רוטס וואַקוום פּאָמפּע
א רוטס וואַקוום פּאָמפּע אַרבעט אויף אַ פּשוט אָבער העכסט עפעקטיוו פּרינציפּ. איר אינעווייניקסטער מעכאַניזם באַוועגט גאַז פֿון אַן אַרייַנגאַנג צו אַן אַרויסגאַנג אָן עס צו קאָמפּרעסירן אינעווייניק פֿון דער פּאָמפּע קאַמער. דער פּראָצעס פֿאַרלאָזט זיך אויף דער סינקראָניזירטער באַוועגונג פֿון עטלעכע שליסל טיילן וואָס אַרבעטן אין פּערפֿעקטער האַרמאָניע.
דער פיר-סטעפּיקער אָפּערירן ציקל
די פּאָמפּע אַקציע פּאַסירט אין אַ קאָנטינויִערלעכן, פֿיר-שטאַפּל ציקל וואָס איבערחזרט זיך טויזנטער מאָל פּער מינוט. מאָדערנע ראָטאָרן קענען זיך דרייען מיט גיכקייטן פֿון 3,000 ביז 6,000 רפּם. די הויכע גיכקייט דערמעגלעכט די פּאָמפּע צו באַוועגן גרויסע באַנדן גאַז זייער שנעל.
אריינגאנג: ווען די צוויי לאבירטע ראטארן דרייען זיך אין פארקערטע ריכטונגען, עפנט זיך א טאש פון פלאץ ביים פאמפע'ס אריינגאנג. גאז פון דער וואקיום קאמער פליסט אריין אין דעם אויסברייטערנדן פארנעם.
אפגעזונדערטקייט: די שפּיץ פֿון אַ ראָטאָר לאָבע גייט פֿאַרביי דעם אַרײַנגאַנג פּאָרט. די אַקציע פֿאַנגט אַ ספּעציפֿישן באַנד גאַז צווישן דעם ראָטאָר און דעם פּאָמפּע'ס הויז.
טראַנספער: די איינגעכאפטע קעשענע פון גאַז ווערט דעמאָלט געשווינגען אַריבער די אינעווייניק פון די קעסטל צו די אַרויסגאַנג. א שליסל שטריך פון די רוטס וואַקוום פּאָמפּע איז אַז עס קאַמפּרעסירט נישט דעם גאַז בעשאַס טראַנספער. די ניט-קאָנטאַקט, ייל-פֿרייַ אָפּעראַציע מאכט עס נישט סענסיטיוו צו קליינע מאָסן פון שטויב אָדער וואַסער פארע.
אויספּוסט: דער ראָטאָר דרייט זיך ווייטער, און שטעלט אויס דעם גאַז־קעשענע צום אַרויסגאַנג. דער גאַז עקספּאַנדירט זיך דאַן אין דער אויספּוסט־ליניע, וואו אַ בעק־פּאָמפּע נעמט עס אַרויס פֿונעם סיסטעם. דער ציקל איבערחזרט זיך, און באַוועגט קאַנטיניואַסלי גאַז פֿונעם אַרייַנגאַנג צום אַרויסגאַנג און פֿאַרמינערט דעם סיסטעם־דרוק.
באַמערקונג: כאָטש זייער עפֿעקטיוו פֿאַר פֿילע גאַזן, איז די זויג־פֿעיִקייט פֿון אַ רוטס־פּאָמפּע נידעריקער פֿאַר זייער לייכטע גאַזן ווי וואַסערשטאָף אין פֿאַרגלייך מיט אַנדערע פּאָמפּע־טיפּן.
שליסל קאָמפּאָנענטן און זייערע פונקציעס
די פאַרלעסלעכע פאָרשטעלונג פון אַ רוטס פּאָמפּע דעפּענדס אויף אַ פּאָר קריטישע קאָמפּאָנענטן וואָס זענען אינזשענירט מיט הויך פּינטלעכקייט.
ראָטאָרן: די פּאָמפּע פֿאַרמאָגט צוויי פֿאַרבונדענע, לאָבעד ראָטאָרן (אָפֿט געפֿאָרעמט ווי אַ פֿיגור-אַכט). די פֿאָרעם, אָדער פּראָפֿיל, פֿון די לאָבעס האָט אַ דירעקטן השפּעה אויף דער פאָרשטעלונג. פֿאַרשידענע דיזיינען אָפֿערן קאָמפּראָמיסן צווישן פּאָמפּע גיכקייט און עפֿעקטיווקייט. העליקאַלע ראָטאָרן, למשל, העלפֿן רעדוצירן דרוק פּולסאַציע און אָפּעראַציאָנעלן ראַש.
| ראָטאָר פּראָפיל טיפּ | פּאָמפּע גיכקייט אַדוואַנטאַגע | באַנד נוצן קורס |
|---|---|---|
| ראָמאַן עלליפּטיקאַל | 1.5 מאָל העכער ווי די שפּיץ עלליפּטיקאַל | הויך |
| שפּיץ עלליפּטיקאַל | נאָרמאַל פאָרשטעלונג | דערנענטערט זיך צו 55% |
הויזינג (קעיסינג): דאָס איז דער אויסערלעכער קערפּער וואָס פֿאַרמאַכט די ראָטאָרן. עס איז געבויט צו וויטשטיין די דרוק אונטערשיידן צווישן דעם וואַקוום סיסטעם און דער אַטמאָספֿערע. דער מאַטעריאַל געניצט פֿאַר די הויזינג און ראָטאָרן דעפּענדס אויף די אַפּליקאַציע ס פאָדערונגען פֿאַר קעראָוזשאַן קעגנשטעל, שטאַרקייט און קאָסטן.
| מאַטעריאַל | שליסל מעלות | געוויינטלעכע אַפּליקאַציעס |
|---|---|---|
| גוס אייזן | הויך שטאַרקייט, גוט טראָגן קעגנשטעל, קאָסטן-עפעקטיוו. | אַלגעמיינע אינדוסטריעלע, כעמישע, און עסן פאַראַרבעטונג. |
| נישט-ראַסטיק שטאָל | אויסגעצייכנטע קעראָוזשאַן קעגנשטעל, היגיענישע פּראָפּערטיעס. | פארמאצעווטישע, האַלב-קאָנדוקטאָר, און מעדיצינישע עקוויפּמענט. |
| אַלומינום צומיש | לייטווייט, גוטע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי. | אַעראָספּייס, אָטאָמאָטיוו, און פּאָרטאַטיוו פּאָמפּע סיסטעמען. |
צייט גירס: פלאצירט אינדרויסן פון דער פאמפ קאמער, זענען צייט גירס וויכטיג. זיי סינקראניזירן די צוויי ראטארן, זיכער מאכנדיג אז זיי דרייען זיך אין פארקערטע ריכטונגען אן זיך צו רירן איינער דעם אנדערן אדער דעם קעסטל. די סינקראניזאציע איז יסודות'דיג פאר דער פאמפ'ס נישט-קאנטאקט אפעראציע.
שאַפט זיגלען: זיגלען פאַרהיטן לופט פון ליקן אין די וואַקוום קאַמער און האַלטן לובריקאַנץ פון קאַנטאַמאַנייטינג דעם פּראָצעס. די ברירה פון זיגל דעפּענדס אויף די פארלאנגט וואַקוום מדרגה און אַפּלאַקיישאַן.
| פּלאָמבע טיפּ | מעכאניזם | בעסטער פֿאַר |
|---|---|---|
| לאַבירינט זיגל | ניצט אַ קאָמפּליצירטן וועג צו האַלטן דעם פלוס; קיין קאָנטאַקט. | הויך-גיכקייט אַפּלאַקיישאַנז וואו נול טראָגן איז דארף. |
| מעכאנישע זיגל | ניצט צוויי העכסט פאלירטע, פרילינג-באלאדענע פנימער. | הויך-דרוק, הויך-טעמפּעראַטור, און נידעריק-ליקאַדזש באדערפענישן. |
| מאַגנעטישע פליסיק פּלאָמבע | ניצט אַ מאַגנעטישע פליסיקייט צו שאַפֿן אַ פּערפֿעקטע באַריערע. | הויך-וואַקוום אַפּלאַקיישאַנז וואָס דאַרפן נול ליקאַדזש. |
די וויכטיקייט פון פּינקטלעכע קליראַנסעס
דער טערמין "קלעראַנס" באַציט זיך צו די קליינע, באַרעכנטע שפּאַלטן צווישן די ראָטאָרן און צווישן די ראָטאָרן און דעם קעסטל. די שפּאַלטן זענען דער סוד צום פּאָמפּע'ס הצלחה. זיי לאָזן די ראָטאָרן זיך דרייען מיט הויכע גיכקייטן אָן רייַבונג, וואָס גיט פילע מעלות:
שנעלער אָנהייב
נידעריקע מאַכט קאַנסאַמשאַן
הויכע פּאָמפּע גיכקייט
נידעריקע אָפּעראַציע און וישאַלט קאָסטן
אבער, די קלירענס מוזן ווערן פערפעקט געראטן. בעתן אפעראציע, דזשענערירט די פאמפע היץ. די היץ פאראורזאכט אז די מעטאל קאמפאנענטן זאלן זיך אויסברייטערן, א פראצעס באקאנט אלס טערמישע אויסברייטערונג. ווען די ראטארן און הויז אויסברייטערן זיך, שרינקען די קלירענס צווישן זיי.
ווארענונג: אויב די קלירענס ווערן צו קליין צוליב טערמישער אויסברייטונג אדער אומריכטיגע צוזאמענשטעלונג, קענען די ראטארן מאכן קאנטאקט איינער מיטן צווייטן אדער מיטן קעסטל. דאס פירט צו רייבונג, קאמפאנענט שאדן, פארגרעסערטע מאטאר לאסט, און א מעגליכע פאמפ קאנפיסקאציע. פארקערט, קלירענס וואס זענען צו גרויס ערלויבן גאז צו רינען צוריק פון די ארויסגאנג צום אריינגאנג, וואס פארקלענערט שטארק די פאמפ'ס עפעקטיווקייט.
געהעריגע אינזשעניריע און מאַטעריאַל אויסוואַל ענשור אַז אַ רוטס וואַקוום פּאָמפּע האַלט אָפּטימאַלע קליראַנסעס איבער זיין אַפּערייטינג טעמפּעראַטור קייט, צושטעלנדיק פאַרלאָזלעך און עפעקטיוו פאָרשטעלונג.
סיסטעם קאָנפיגוראַציע: באַקינג קעגן מולטי-סטאַגע פּאָמפּעס
א רוטס פּאָמפּע איז אַ שטאַרקער בוסטער, אָבער זי קען נישט אַרבעטן אַליין. זי דאַרף אַ ספּעציפֿישע סיסטעם קאָנפיגוראַציע צו דערגרייכן איר פול פּאָטענציאַל. די פּאָמפּע באַוועגט גאַז עפֿעקטיוו אָבער קאַמפּרעסירט עס נישט גענוג צו אַרויסלאָזן גלייך אין דער אַטמאָספֿערע. די באַגרענעצונג דאַרף די נוצן פון אַ באַקינג פּאָמפּע אָדער אַ מערשטאַפּל אָרדענונג.
פארוואס א באַקינג פּאָמפּע איז נייטיק
א רוטס פּאָמפּע דאַרף אַ באַקינג פּאָמפּע צו שעפּן איר אויספּוף. די באַקינג פּאָמפּע פֿאַרבינדט זיך צום אַרויסגאַנג פֿון דער רוטס פּאָמפּע. זי נעמט דעם טראַנספֿערירטן גאַז און קאָמפּרעסירט עס צו אַטמאָספֿערישן דרוק, און פֿאַרענדיקט דעם עוואַקואַציע פּראָצעס. די פּאַרטנערשאַפֿט דערמעגלעכט דעם סיסטעם צו דערגרייכן טיפֿע וואַקוומס עפֿעקטיוו. די ברירה פֿון באַקינג פּאָמפּע ווענדט זיך אין דער ספּעציפֿישער אַפּליקאַציע און געוואונטשענעם וואַקוום לעוועל.
האָסטו געוואוסט? די בעק-פּאָמפּע ווערט אויך גערופן אַ פּרימערי פּאָמפּע ווײַל זי טוט די לעצטע אַרבעט פון אַרויסנעמען גאַז פֿון דער סיסטעם.
געוויינטלעך טייפּס פון באַקינג פּאָמפּעס אַרייַננעמען:
צוויי-שטאַפּל ראָטאַרי וויין פּאָמפּעס
אויל-געזיגלטע מעכאנישע פּאָמפּעס
צוויי-שטאַפּל גליטש ווענטיל מעכאַנישע פּאָמפּעס
פליסיק רינג וואַקוום פּאָמפּעס
ווי מולטי-סטאַגע פּאָמפּעס אַרבעטן
פֿאַר אַפּליקאַציעס וואָס פֿאָדערן גאָר נידעריקע דרוקן, פֿאַרבינדן אינזשענירן קייפל פּאָמפּעס אין סעריע. דאָס שאַפֿט אַ מערשטאַפֿיקע רוטס וואַקוום פּאָמפּע סיסטעם. אין דעם סעטאַפּ, פֿליסט דער אַרויסגאַנג פֿון דער ערשטער פּאָמפּע אַרײַן אין דעם אַרײַנגאַנג פֿון דער צווייטער, און אַזוי ווײַטער. יעדע נאָכפֿאָלגנדיקע שטאַפּל פֿאַרנידעריקט דעם דרוק ווײַטער. אַ לעצטע בעק-פּאָמפּע איז נאָך נויטיק אין סוף פֿון דער קייט צו אַרויסלאָזן דעם גאַז אין דער אַטמאָספֿערע.
די שטאַרקע סיסטעמען זענען וויכטיק פֿאַר הויך-טעק און פאָדערנדיקע אינדוסטריעס. שליסל אַפּליקאַציעס אַרייַננעמען:
האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע: פֿאַר פּראָצעסן ווי כעמישע דאַמף דעפּאַזישאַן (CVD), פיזישע דאַמף דעפּאַזישאַן (PVD), און עטשינג.
אַעראָספּייס: אין קאָסמאָס סימיאַליישאַן קאַמערן און קאָמפּאָנענט טעסטינג.
נייע ענערגיע: פֿאַר פּראָדוקציע פֿון זונפּאַנעלן און באַטעריעס.
די רוטס וואַקוום פּאָמפּע איז אויסגעצייכנט ביי הויך-גיך גאַז טראַנספער אלא ווי אינערלעכע קאַמפּרעסיע. איר פּשוטער, ניט-קאָנטאַקט פּלאַן שאַפט אַ שטאַרקן בוסטער פֿאַר ריינע, הויך-דורכפיר אַפּליקאַציעס. מאָדערנע פּאָמפּעס אינטעגרירן איצט ענערגיע-עפעקטיווע מאָטאָרן און קלוגע סענסאָרן, וואָס שטופּט די פאָרשטעלונג נאָך ווייטער פֿאַר פאָדערנדיקע אינדוסטריעס וואָס דאַרפן פאַרלאָזלעכע און עפעקטיווע וואַקוום סיסטעמען.
פּאָסט צייט: 28סטן אָקטאָבער 2025